Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Название:
Раздел:
 
Авторы:
Год выпуска:  до 
Ключевые слова:
   

Физика диэлектрических пленок: Атомная и электронная структура

Физика диэлектрических пленок: Атомная и электронная структура

Гриценко В.А., Перевалов Т.В.
Новосибирск: Автограф, 2015 г., 234 с., Тираж 300, ISBN 978-5-9906983-9-0

Монография посвящена физике диэлектрических пленок в кремниевых приборах. Рассматриваются строение, электронная структура объема и дефектов в диэлектриках SiO2Si3N4, SiOxNy, Al2O3, HfO2, ZrO2, Ta2O5, TiO2.

Монография предназначена для научных сотрудников и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и диэлектриков, полупроводниковых приборов, студентов, бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по физике твердого тела и микроэлектронике.


900 руб В корзину