Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

1999 год, номер 6

Роль адсорбированного водорода в гетерогенном разложении трифторкетоимината никеля (II) в процессах формирования пленок никеля.

В. В. Баковец, В. Н. Митькин
Институт неорганической химии СО РАН, пр-т Акад.Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)

Аннотация

Рассмотрены особенности термического разложения трифторкетоимината никеля (II) в инертной и восстановительной атмосфере на поверхности меди, кремния и оксида кремния. Наличие атомарного водорода на реакционной поверхности значительно снижает температуру термического разложения комплекса. На основании обзора литературы по хемосорбции молекулярного водорода проведены энергетические оценки процессов диссоциации молекул на атомы и диффузии атомов к адсорбированному комплексу металла. При разложении комплекса металла на кремнии или его оксиде снижение температуры разложения определяется наличием гидроксильных групп на реакционной поверхности и участием протона в реакции разложения. Представленные механизмы термического разложения и восстановления комплекса никеля объясняют эффект избирательного осаждения металлического никеля на поверхности материалов различной природы и должны учитываться при конструировании аппаратуры и выборе режимов формирования металлических пленок в прогрессивно развивающихся процессах газофазного осаждения металлов.