Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2000 год, номер 1-2

Тонкие монокристаллические пленки тугоплавких металлов для металлической наноэлектроники

В. В. Аристов, Г. М. Михайлов
Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН, Черноголовка Московской области 142432 (Россия)

Аннотация

Методом импульсного лазерного испарения в сверхвысоком вакууме получены тонкие (10–100 нм) монокристаллические пленки тугоплавких металлов (W, Mo, Nb, Ta). Пленки характеризуются высоким совершенством объемной структуры, а также границ раздела. Средняя амплитуда шероховатости внешней поверхности находится на уровне 0.2 нм. В результате достигнуты рекордно большие значения остаточной длины свободного пробега электронов, более чем на порядок превышающие толщину пленок. Полученные результаты открывают возможность изготовления баллистических электронных устройств нанометрового размера на основе пленок тугоплавких металлов.