Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2000 год, номер 1-2

Новый экологически безопасный метод осаждения слоев нитрида кремния в квазизамкнутом реакторе пониженного давления.

О. И. Семенова, К. П. Могильников, С. М. Репинский
Институт физики полупроводников СО РАН,
пр-т Акад. Лаврентьева, 13, Новосибирск 630090 (Россия)

Аннотация

Описан новый способ получения слоев нитрида кремния из тетрахлорида кремния и аммиака в квазизамкнутом реакторе пониженного давления. Этот метод, сохраняя все достоинства традиционного РПД-процесса, имеет ряд преимуществ. Это более экономичный процесс по расходам реагентов и электроэнергии. Проведение процесса без откачки исключает выброс вредных газов в окружающую среду и решает экологические проблемы. Кинетические зависимости нового процесса и свойства слоев аналогичны тем, что получены ранее при традиционном осаждении в реакторе пониженного давления.