Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2009 год, номер 2

Генерация и регистрация возмущений в потоке газа 1. Формирование массивов микротрубчатых нагревателей и сенсоров

В. А. Селезнев, В. Я. Принц, В. М. Анискин*, А. А. Маслов*
Институт физики полупроводников СО РАН, 630090 Новосибирск
*Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН,
630090 Новосибирск; E-mails: seleznev@isp.nsc.ru, prinz@isp.nsc.ru, aniskin@itam.nsc.ru, maslov@itam.nsc.ru
Ключевые слова: трубчатые сенсоры и актюаторы, массивы микротрубок, управление течениями
Страницы: 145-151

Аннотация

Предложен новый способ создания саморегулирующейся поверхности для подавления турбулентности и сохранения ламинарного режима сверхзвукового обтекания. Разработаны методы формирования сверхбыстродействующих измерительных и исполнительных элементов такой поверхности. Предложены конструкции указанных элементов (сенсоров и актюаторов), представляющие собой изготовленные из SiO2/Si3N4/Au и InGaAs/GaAs/Au и подвешенные над подложкой микротрубки, стенки которых имеют нанометровую толщину и к которым подсоединены электрические контакты. Макеты распределенных массивов трубчатых микросенсоров и микроактюаторов изготовлены в едином технологическом процессе с использованием хорошо развитой планарной технологии и технологии сворачивания напряженных гетеропленок.