Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.206.160.129
    [SESS_TIME] => 1711650357
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 45ebb5d78a687aa1504c797002d55185
    [UNIQUE_KEY] => 6f717be1c679ca2b61744257ef24121f
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 2

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ РОСТА НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ CdxHg1-x Te

Н. Н. Михайлов, В. А. Швец, С. А. Дворецкий, Е. В. Спесивцев, Ю. Г. Сидоров, С. В. Рыхлицкий, Р. Н. Смирнов
Институт физики полупроводников ОИФП СО РАН, Новосибирск
E-mail: shvets@isp.nsc.ru
Страницы: 71-80
Подраздел: ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СРЕДЫ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ

Аннотация

Методом молекулярно-лучевой эпитаксии с прецизионным эллипсометрическим контролем in situ толщины и состава слоев были выращены наноразмерные потенциальные барьеры и ямы на основе твердых растворов CdxHg1-x Te (КРТ). При изменении величины молекулярного потока теллура в процессе роста КРТ наблюдаются затухающие осцилляции эллипсометрических параметров. Сравнение экспериментальных данных с расчетом позволяет определить состав КРТ тонкого слоя, соответствующего потенциальному барьеру или яме, его толщину и оценить резкость границ. Показано, что выращенные потенциальные барьеры и ямы с различными составами КРТ толщиной от 2 до нескольких десятков нанометров имеют резкие границы, размытие которых не превышает одного монослоя.