ОСОБЕННОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ МИКРОГЕНЕРАТОРОВ ЭНЕРГИИ
В. П. Драгунов1, Э. Г. Косцов2
1 Новосибирский государственный технический университет, drag@adm.nstu.ru
2 Институт автоматики и электрометрии СО РАН, kostsov@iae.nsk.su
Ключевые слова: микроэлектромеханика, электростатика, микрогенератор энергии, микровибрация
Страницы: 62-73
Аннотация
Проведен анализ особенностей функционирования и сравнение характеристик одно- и двухконденсаторных микроэлектромеханических преобразователей (МЭМП) энергии механических микроколебаний в электрическую энергию при модуляции величины межэлектродного зазора с учетом взаимного влияния электрических и упругих сил. Показано, что основными ограничивающими факторами повышения мощности МЭМП являются эффекты «схлопывания» и условие сохранения системой положительной жесткости. Получены выражения для оценки предельных параметров МЭМП. Рассмотрена возможность генерации электрической энергии при наличии «реальных» источников микроколебаний с широким спектром.
|
