Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 1

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ РАБОТЫ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ ФОКУСИРОВКИ КРУГОВОГО ЛАЗЕРНОГО ЗАПИСЫВАЮЩЕГО УСТРОЙСТВА

Д. Э. Денк1, Г. П. Полещук2
1 Институт технической оптики, Университет Штутгарта,
denk@ito.uni-stuttgart.de
2 Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН,
poleshchuk@iae.nsk.su
Ключевые слова: лазерная запись, автоматическая фокусировка, дифракционная оптика, система автоматического регулирования
Страницы: 107-117

Аннотация

Рассмотрены особенности работы системы автоматической фокусировки кругового лазерного записывающего устройства CLWS-300IAE. Проведено исследование влияния погрешности фокусировки на процесс прямой лазерной записи дифракционных структур. Описан и экспериментально исследован цифровой адаптивный регулятор для системы автоматического регулирования фокусировки. Приведены алгоритмы работы регулятора, методика настройки и экспериментальные результаты.