ПОВЫШЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ГИБРИДНЫХ ФОТОПРИЁМНИКОВ НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЁВ КАДМИЙ—РТУТЬ—ТЕЛЛУР
А.Р. Новоселов, И.Г. Косулина, А.Г. Клименко, Н.А. Валишева, В.В. Васильев, С.А. Дворецкий
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
novoselov@isp.nsc.ru
Ключевые слова: фотоприёмное устройство, гетероэпитаксиальные слои кадмий—ртуть—теллур, индиевые столбы
Страницы: 111-118
Аннотация
Представлены результаты исследований, направленных на повышение прочности гибридных фотоприёмных устройств (ФПУ) на основе гетероэпитаксиальных слоёв кадмий—ртуть—теллур. Показано, что отжиг кремниевых мультиплексоров при температуре 157 ºС в потоке водорода в вакууме изменяет форму индиевых столбов на полусферическую, выравнивает их механические свойства по пластине. Контролируемое восстановление естественной кривизны пластин кремниевых мультиплексоров и массивов фоточувствительных элементов в гибридных фотоприёмных устройствах при температуре 120 ºС увеличивает срок их эксплуатации. Предложена последовательность технологических операций по гибридизации ФПУ, обеспечивающих повышение величины усилия на отрыв фоточувствительных элементов от кремниевых мультиплексоров не менее 75 % в сравнении с ФПУ со сплавленными индиевыми столбами
|
