Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

1988 год, номер 2

Расчет характеристик безэлектродного ВЧ-разряда

А. Е. Булышев, Н. В. Денисова, Н. Г. Преображенский,
А. Е. Суворов
Новосибирск
Страницы: 3-7

Аннотация

Предложена математическая модель плазмы безэлектродного ВЧ-разряда в приближении максвелловского распределения электронов по энергиям и пренебрежении объемной рекомбинацией. На ее основании сделаны оценки для мощности разряда и характерного значения электронной плотности как функции внешнего поля. Проведенный для аргоновой плазмы расчет позволил получить количественные данные по распределению электронной концентрации, температуры и электромагнитного поля в пространстве.