Газоструйный синтез алмазоподобных пленок из потока газовой смеси H2 + CH4
А.А. Емельянов, А.К. Ребров, И.Б. Юдин
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск
alemelyanov@gmail.com
Ключевые слова: алмазоподобные пленки, газоструйное осаждение, прямое статистическое моделирование
Страницы: 94-100
Аннотация
Экспериментально изучен процесс синтеза алмазоподобных покрытий из высокоскоростного потока газовых смесей в режимах течения от свободномолекулярного до континуального со скоростями потока от сотен до тысяч метров в секунду при различных удельных расходах и температурах в случае активации газов на горячих поверхностях. Исследовано осаждение углеродных пленок при низком (менее 0,15 Па) и высоком (2600 Па) давлениях из смеси водорода и метана. Проведено прямое статистическое моделирование течения водорода в соответствии с условиями эксперимента с заданными температурами поверхностей и химическими превращениями на них. Установлено, что полученные при высоком давлении покрытия содержат характерные для алмаза частицы, а также необычные включения в виде призм с гексагональным сечением.
|
