Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2015 год, номер 1

Получение и свойства прозрачных проводящих пленок диоксида олова, допированного фтором

С. А. СЕРЕНКО1, Н. Ф. УВАРОВ2, В. А. ГАВРИЛЕНКО1
1Новосибирский государственный технический университет, проспект К. Маркса, 20, Новосибирск 630073, Россия
semen.serenko@yandex.ru
2Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения РАН, ул. Кутателадзе, 18, Новосибирск 630128, Россия
uvarov@solid.nsc.ru
Ключевые слова: термическое разложение аэрозолей, оксид олова, наночастицы, прозрачные проводящие покрытия, FTO
Страницы: 103-106

Аннотация

Методом пиролиза аэрозолей получены прозрачные проводящие тонкопленочные покрытия на основе оксида олова, допированного фтором SnO2–хFх. Покрытия характеризуются нанокристаллической структурой со средним размером частиц 14 нм. Исследованы кинетические зависимости изменения сопротивления пленок in situ в процессе увеличения толщины покрытий. Определены основные стадии процесса роста пленок. Отработаны режимы получения прозрачных пленок SnO2–хFх с удельной проводимостью более 103 См/см.