Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2015 год, номер 5

АНАЛИЗ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ЁМКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР НА ВЫСОКОЙ ЧАСТОТЕ

В.Н. Вьюхин
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
vvn@iae.nsk.su
Ключевые слова: измерение ёмкости полупроводниковых структур, ошибки измерения, тестовый сигнал, измерительная цепь, ёмкостный делитель, интегратор, measuring the capacity of semiconductor structures, measurement error, test signal, measurement circuit, capacity divider, integrator
Страницы: 120-125
Подраздел: СИСТЕМЫ АВТОМАТИЗАЦИИ В НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЯХ И ПРОМЫШЛЕННОСТИ

Аннотация

Выполнены теоретические и экспериментальные исследования погрешности измерения ёмкости полупроводниковых структур на высокой частоте измерительной цепью на основе интегратора. Полученные соотношения для расчёта этой погрешности позволяют для конкретных условий правильно выбрать параметры измерительной цепи.