ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОДВИЖНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ MEMS
Э.Г. Косцов, А.И. Скурлатов, А.М. Щербаченко
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
Kostsov@iae.nsk.su
Ключевые слова: оптико-электронная система, гетеродинный лазерный интерферометр, акустооптический модулятор лазерного излучения, подвижный элемент MEMS, optoelectronic system, heterodyne laser interferometer, acousto-optical modulator of laser radiation, moving MEMS element
Страницы: 92-100
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Рассматривается экспериментальная конструкция оптико-электронной системы для бесконтактного измерения микро- и наноперемещений подвижных элементов MEMS. Основу устройства составляет гетеродинный интерферометр со стабилизированным по частоте He-Ne-лазером и акустооптическим модулятором лазерного излучения. При воздействии на структуру MEMS импульсов напряжения с амплитудой до 1 В экспериментально достигнуто разрешение по перемещению подвижного элемента менее 1 нм, при этом амплитуда перемещения линейно зависит от управляющего напряжения с чувствительностью 100-200 нм/В. Установлено, что на кривой местоположение элемента - управляющее напряжение эффект гистерезиса не проявляется.
DOI: 10.15372/AUT20180412 |
