Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.89.56.228
    [SESS_TIME] => 1711618983
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => c5158e040376248185703cb52434fa9f
    [UNIQUE_KEY] => dfb031bc6073321b3ecbaad3b6756a7e
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2018 год, номер 5

ПОВЫШЕНИЕ ДОСТОВЕРНОСТИ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ НЕСКОЛЬКИХ ДЛИН ВОЛН

И.А. Выхристюк, Р.В. Куликов, Е.В. Сысоев
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41
uic@ngs.ru
Ключевые слова: рельеф поверхности, интерференционные измерения, частично когерентная интерферометрия, многоволновые измерения, surface topography, interference measurements, partially coherent interferometry, multiwave measurements
Страницы: 64-72
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Аннотация

Предложены методы повышения достоверности интерференционных измерений нанорельефа поверхностей, содержащих резкие перепады высоты, которые приводят к неоднозначности определения фазы интерференционного сигнала. Рассмотрено влияние общей погрешности измерения на диапазон многоволновых измерений. Приведены результаты натурных экспериментов, демонстрирующие увеличение диапазона измерений нанорельефа предложенными методами в сравнении с одноволновыми измерениями.

DOI: 10.15372/AUT20180508