Масс-спектрометрическое исследование конденсации смесей моносилана с аргоном в импульсных сверхзвуковых молекулярных пучках
А. Е. Зарвин, Н. Г. Коробейщиков, В. Ж. Мадирбаев, С. Я. Хмель*, Р. Г. Шарафутдинов*
Новосибирский государственный университет
*Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск
Страницы: 427-439
Аннотация
Исследована конденсация моносилана и его смеси с аргоном в диапазоне давлений торможения 10 - 300 кПа при адиабатическом расширении в свободной сверхзвуковой струе. Использована масс-спектрометрическая диагностика в импульсных молекулярных пучках, сформированных из свободных сверхзвуковых струй, что значительно расширило диапазон расходов и давлений в газовых источниках по сравнению с установками непрерывного действия. Изучен состав потока в зависимости от параметров торможения. В конденсирующих потоках смеси аргон моносилан зарегистрированы осколки кластеров аргона, моносилана (вплоть до пентамеров), а также ионы смешанных кластеров вида Ar(SiHn;)m;+; и Ark;SiHn;+;Ark;, k, m и n целые числа. Определены условия истечения, позволяющие получать смешанные аргон-силановые комплексы. Обнаружено, что рост давления торможения приводит к изменению соотношения интенсивностей пиков аргона и силанов, обусловленному, по-видимому, изменением состава кластеров.
|
