Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Т. П. СМИРНОВА1, А. М. БАДАЛЯН1, Л. В. ЯКОВКИНА1, Н. П. СЫСОЕВА1, И. П. АСАНОВ1,В. В. КАИЧЕВ2, В. И. БУХТИЯРОВ2, А. Н. ШМАКОВ2, В. И. РАХЛИН3, А. Н. ФОМИНА3
1Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН,
проспект Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
E-mail: smirn@che.nsk.su
2Институт катализа имени Г. К. Борескова Сибирского отделения РАН,
проспект Академика Лаврентьева, 5, Новосибирск 630090 (Россия)
3Институт химии имени А. А. Фаворского Сибирского отделения РАН,
ул. Фаворского, 1, Иркутск 664000 (Россия)
Страницы: 857-864
Аннотация
Пленки карбонитрида кремния синтезированы методом газофазного химического осаждения в схеме с удаленной плазмой. В качестве исходных реагентов использованы силильные производные 1,1-диметилгидразина: диметил(2,2-диметилгидразино)силан и диметил-бис-(2,2-диметилгидразино)силан. В молекулах этих мономеров содержатся связи Si-N, Si-С и C-N, необходимые для формирования карбонитрида кремния. По данным РФЭС и ИК-спектроскопии установлено, что синтезированные пленки представляют собой различные типы соединений-композитов, в которых атом кремния связан с атомами азота и углерода, либо атом азота образует химические связи с кремнием и углеродом. Пленки, синтезированные при Т < 673 K, частично гидрированы. Электронно-микроскопические исследования показали, что в аморфной матрице пленок образуются нанокристаллы размером 50-200 нм. Методом дифракции синхротронного излучения обнаружено, что возникновение кристаллов, а также их кристаллические формы не зависят от температуры подложки. Это дает основание полагать, что образование нанокристаллов может происходить в газовой фазе, либо инициироваться напряжениями в пленке, увеличивающимися по мере роста ее толщины. Пленки обладают высокой термической стабильностью вплоть до температуры 1273 K.
|
