О новом подходе к нанесению многослойных сверхтонких покрытий. Эффекты перемешивания
С. Г. Псахье, К. П. Зольников, Т. Ю. Уваров
Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, 634201 Томск
Страницы: 137-139
Аннотация
В рамках молекулярно-динамического моделирования показано, что взаимодействие нелинейного импульса со свободной поверхностью может приводить к отрыву атомной плоскости. Согласно полученным результатам при налете на мишень оторвавшиеся фрагменты могут формировать многослойное покрытие. Это легло в основу предложенного подхода к послойному нанесению тонких покрытий. Показано, что изменение числа импульсов и времени их выхода на поверхность "источника" может существенно изменить структуру и состав покрытия на мишени.
|