Роль адсорбированного водорода в гетерогенном разложении трифторкетоимината никеля (II) в процессах формирования пленок никеля.
В. В. Баковец, В. Н. Митькин
Институт неорганической химии СО РАН, пр-т Акад.Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
Аннотация
Рассмотрены особенности термического разложения трифторкетоимината никеля (II) в инертной и восстановительной атмосфере на поверхности меди, кремния и оксида кремния. Наличие атомарного водорода на реакционной поверхности значительно снижает температуру термического разложения комплекса. На основании обзора литературы по хемосорбции молекулярного водорода проведены энергетические оценки процессов диссоциации молекул на атомы и диффузии атомов к адсорбированному комплексу металла. При разложении комплекса металла на кремнии или его оксиде снижение температуры разложения определяется наличием гидроксильных групп на реакционной поверхности и участием протона в реакции разложения. Представленные механизмы термического разложения и восстановления комплекса никеля объясняют эффект избирательного осаждения металлического никеля на поверхности материалов различной природы и должны учитываться при конструировании аппаратуры и выборе режимов формирования металлических пленок в прогрессивно развивающихся процессах газофазного осаждения металлов.
|
