О границах начального участка пленки расплава, формируемой при бестигельном зонном переплаве полупроводниковых материалов.
В. И. Яковлев
Институт теоретической и прикладной механики СО РАН, 630090 Новосибирск
Аннотация
Выполнен анализ стационарных
гидродинамических и температурных полей
вблизи верхней тройной точки процесса
бестигельного зонного переплава.
Установлены закономерности, определяющие
угловое положение и форму начального
участка пленки расплава в зависимости от
тепловых условий на поверхностях твердой
фазы и расплава в близкой окрестности
тройной точки в виде четырех
аналитических соотношений.
|