ИЗМЕРЕНИЕ И КОРРЕКЦИЯ ТРАЕКТОРИИ ДВИЖЕНИЯ ЛАЗЕРНОГО ПУЧКА В КРУГОВЫХ ЗАПИСЫВАЮЩИХ СИСТЕМАХ
В. П. Корольков
(Новосибирск)
Страницы: 13–25
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Системы лазерной записи с круговым сканированием эффективно применяются в производстве дифракционных оптических элементов, микрооптики, кодовых дисков и лимбов. Однако точность формирования микроструктуры с помощью таких систем существенно зависит от радиального биения шпинделя, которое вызывает отклонение траектории движения записывающего пучка от круговой формы. Знание зависимости этого отклонения от угла поворота позволяет компенсировать влияние биения шпинделя, корректируя радиальное положение пучка. Предложен новый фотоэлектрический метод измерения траектории движения записывающего пучка для систем с круговым сканированием. Обсуждаются результаты его применения для коррекции положения пучка с помощью электромагнитного дефлектора.
|
