НАНОМЕТРИЯ: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ
В. В. Календин
(Москва)
Страницы: 20–36 Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ
Аннотация
Рассмотрены состояние и перспективы развития метрологического обеспечения линейных измерений в нанометровом диапазоне. Сформулированы проблемы техники нанометровых измерений и определены важнейшие задачи их решения. На основе анализа принципиальных возможностей различных методов и средств нанометрии, а также технологий изготовления и конструкций мер малой длины рекомендованы наиболее оптимальные с точки зрения разрешающей способности, стабильности и погрешности измерений. Представлены результаты экспериментальных исследований эталонного измерительного комплекса на основе сканирующего зондового микроскопа и лазерного интерферометра, обеспечивающего трехмерные измерения линейных размеров с атомным разрешением в реальном масштабе времени.
|