ИНСТРУМЕНТЫ НАНОТЕХНОЛОГИИ: СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ
В. А. Быков, В. Н. Рябоконь
(Москва)
Страницы: 37–45 Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ, НАНОМЕТРИЯ
Аннотация
Представлены текущее состояние, направления и перспективы разработок инструментов нанотехнологии на основе сканирующих зондовых устройств. Рассмотрены некоторые характеристики сканирующих зондовых микроскопов, зондовых лабораторий и зондовых фабрик. Приведены примеры отечественных разработок зондовых приборов.
|