ИССЛЕДОВАНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА МЕТОДОМ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ МУАРОВЫХ ПОЛОС
Р. Родригес-Вера, А. Мартинес, Дж. А. Райяс, Х. Дж. Пуга
(Гуанахуато, Мексика)
Страницы: 93–104
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Аннотация
Произведена оценка вклада перемещений, нормальных к поверхности объекта, в картину изменения фазы интерференционных полос, получаемых методами муара и спекл-интерферометрии при определении деформаций в плоскости объекта. Анализ выполнен на основе исследования неопределенности (uncer-tainty – неопределенность, зарубежный стандарт погрешности) вектора чувствительности, связанного с положением точки на поверхности объекта. Выполнен численный анализ изменения вектора чувствительности как функции небольших смещений ортогонально поверхности объекта и формы его поверхности. В результате показано, что пренебрежение этими факторами может привести к серьезным ошибкам измерения и что при использовании неколлимированного освещения в интерферометрии муаровых полос с решеткой можно до начала измерения оценить его возможную ошибку. Предложена обобщенная функция коррекции картины изменения фазы для любой интерферометрической схемы, чувствительной к деформациям в плоскости, при использовании освещения сферической волной.
|
