НЕОХЛАЖДАЕМЫЕ РЕЗИСТИВНЫЕ МИКРОБОЛОМЕТРЫ. Ч. I. РЕЖИМ ПОСТОЯННОГО СМЕЩЕНИЯ
М. А. Демьяненко, А. Ф. Кравченко, В. Н. Овсюк
(Новосибирск)
Страницы: 88-103 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Проведен теоретический анализ работы микроболометров в режиме постоянного смещения. Рассмотрены четыре основные схемы измерения сигналов: при фиксированных токе и напряжении и два варианта мостовой схемы. Получены соотношения для мощности, эквивалентной шуму, с учетом флуктуаций тепловых потоков, шума Джонсона и 1/f-шума болометра, шумов устройства считывания и источника питания. Показано, что определенная часть источников шумов в зависимости от схемы измерения вызывает флуктуации мощности выделяющегося в болометре джоулева тепла, что, в свою очередь, приводит к росту температурных флуктуаций по мере увеличения смещения болометра. Для болометров на основе металлических термосопротивлений флуктуации джоулевой мощности оказываются сравнимыми (или больше) с флуктуациями тепловых потоков.
|