АНАЛИЗ ОПТИЧЕСКИХ ТРИАНГУЛЯЦИОННЫХ СИСТЕМ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОФИЛЯ ЗЕРКАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ
С. В. Михляев
(Новосибирск)
Страницы: 78-91
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Аннотация
Анализируются две основные схемы лазерных триангуляционных измерителей, применяемые для зондирования зеркальной поверхности с наклонной (удовлетворяющей принципу Шеймпфлюта) и ортогональной к оптической оси плоскостями фоторегистрации. Даны оценки погрешностей измерений и сравнительный анализ метрологических характеристик двух схем. Определены условия применимости принципа Шеймпфлюта. Показано, что при определенных соотношениях между параметрами оптической схемы и расходимостью светового пучка схема с ортогональной плоскостью фоторегистрации, несмотря на наличие дефокусировки, может обеспечить меньший уровень погрешности измерений, чем схема с наклонной плоскостью. Это преимущество может иметь место лишь при малых углах наклона зондируемой поверхности. Рассмотрены особенности применения триангуляционных систем для зондирования нестационарной поверхности.
|
