Дифракционный метод измерения диаметров круговых отражающих цилиндров
Ю. A. Лемешко, Ю. В. Чугуй
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, E-mail: chugui@tdisie.nsc.ru
Страницы: 3-12 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Обсуждается дифракционный метод измерения круговых отражающих цилиндров большого диаметра (от нескольких миллиметров и более). Отличительной особенностью метода является то, что диаметр измеряется не по дифракционной картине от цилиндра, а путем обработки дифракционных картин от зазоров между краями цилиндра и опорными полуплоскостями. Это позволяет при контроле объектов большого диаметра достигнуть высокой чувствительности метода. Разработана эквивалентная модель формирования измеряемым объектом дифракционной картины Фраунгофера, на базе которой предложен алгоритм обработки измерительной информации, позволяющий определить диаметр объекта.
|