Повышение точности френелевского метода измерения размеров при использовании частично когерентного освещения
Ю. В. Чугуй, Н. А. Яковенко, М. Д. Ялуплин
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, Кубанский государственный университет, E-mail: chugui@tdisie.nsc.ru
Страницы: 13-22 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Исследуются способы повышения точностных характеристик френелевского метода измерений при использовании частично когерентного освещения. Оценена систематическая погрешность измерения, вызванная интерференцией дифракционных краев объекта. Предложен способ повышения точности френелевского метода в нижнем измерительном диапазоне.
|