Ускоренный комбинированный PIC-MCC алгоритм для расчета емкостного высокочастотного разряда
В.А. Швейгерт, И.В. Швейгерт
Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича, Новосибирск
Страницы: 471-481
Аннотация
Разработан новый комбинированный численный алгоритм PIC-MCC (метод частиц в ячейках с моделированием столкновений методом Монте Карло) для быстрого расчета высокочастотного (ВЧ) разряда при низком давлении и большой концентрации плазмы. Результаты тестовых расчетов различных режимов горения емкостного ВЧ разряда в аргоне и гелии хорошо согласуются с данными экспериментов. Продемонстрирована высокая эффективность нового подхода (комбинированного PIC-MCC алгоритма) для моделирования нагрева электронов в бесстолкновительном режиме.
|