Исследование датчика малых линейных перемещений на основе двух фазовых дифракционных решеток
В. А. Комоцкий, В. И. Корольков, Ю. М. Соколов
Российский университет дружбы народов, Москва E-mail: vkomotskii@sci.pfu.edu.ru
Страницы: 105-112 Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ
Аннотация
Предложен и исследован усовершенствованный оптоэлектронный датчик малых линейных перемещений на основе дифракции лазерного пучка на двух фазовых дифракционных решетках. Показана возможность удвоения области линейности при регистрации сигналов в двух первых дифракционных порядках. На основе этого датчика сконструирован макет измерителя неровностей поверхности и проведены эксперименты по измерению профилей поверхности рельефных структур.
|