ВЛИЯНИЕ ОСТАТОЧНОГО НАПРЯЖЕНИЯ В ОПТИЧЕСКИХ ОКНАХ НА ТОЧНОСТЬ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
В. А. Швец
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск E-mail: shvets@isp.nsc.ru
Страницы: 119-126
Аннотация
Рассмотрено влияние остаточного двулучепреломления в оптических окнах на результаты эллипсометрических измерений. Оптические свойства окон описываются комплексным относительным коэффициентом пропускания. В предположении слабой анизотропии окон в линейном приближении рассчитаны поправки к эллипсометрическим параметрам, которые возникают при измерениях на эллипсометрах статического типа. Анализ полученных соотношений показывает, что при двухзонных измерениях поправки частично усредняются. Установлено, что оптимальное положение окон соответствует ориентации их оптических осей под углом 45° относительно плоскости падения света.
|