Моделирование конвективных процессов при получении поликремния методом Бриджмена
В. Н. Попов
Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича СО РАН popov@itam.nsc.ru
Ключевые слова: конвекция, поликремний, тепломассоперенос, моделирование
Страницы: 497-506
Аннотация
С использованием предложенной трехмерной модели проведено численное исследование конвективного тепломассопереноса в расплаве при получении поликристаллического кремния вертикальным методом Бриджмена. Течение в жидкости описывается уравнениями Навье-Стокса в приближении Буссинеска, а распределение концентрации растворенного вещества определяется из решения уравнения конвективной диффузии. Рассмотрено влияние неоднородного разогрева боковых стенок сосуда и формы фронта кристаллизации на структуру течений в расплаве и распределение растворенного в жидкости вещества.
|