СТРУКТУРА ПОКРЫТИЙ Ir-Al2O3, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ В АТМОСФЕРЕ ВОДОРОДА
Н. В. Гельфонд1, Н. Б. Морозова2, И. К. Игуменов3, Е. С. Филатов4, С. А. Громилов5, Р. И. Квон6
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, gel@che.nsk.su
2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
3 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
4 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
5 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
6 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН
Ключевые слова: композиционные покрытия Ir и Ir-Al2O3, химическое осаждение из паровой фазы, иридий(III), алюминий(III), трис-ацетилацетонаты
Страницы: 955-959
Аннотация
Методом химического осаждения из паровой фазы получены покрытия Ir и Ir-Al2O3 с толщиной до 5 мкм и скоростью роста до 2,5 мкм/ч на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3. В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты Ir(III) и Al(III). Процесс осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии водорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлена зависимость структуры и состава покрытий от условий их получения.
|
