МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ МИКРО- И НАНОИЗМЕРЕНИЙ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКОМ ИНСТИТУТЕ ГЕРМАНИИ
Г. Босе, Л. Кёндерс, Ф. Гертиг, Э. Бур, Г. Вилкенинг
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany, Harald.Bosse@ptb.de, ludger.koenders@ptb.de, frank.haertig@ptb.de, Egbert.Buhr@ptb.de, guenter.wilkening@ptb.de
Ключевые слова: размерная (линейная и угловая) метрология, микрометрология, нанометрология, моделирование сигналов
Страницы: 19-25
Аннотация
Приведён обзор методов и приборов, разработанных и применяемых в Физико-техническом институте Германии для высокоточных размерных (линейных и угловых) измерений. Обсуждаются задачи, стоящие перед разработчиками в этой важной области метрологии.
|