ТРЁХМЕРНАЯ КООРДИНАТНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ МАШИНА С РАЗРЕШЕНИЕМ 0,1 нм
Герд Егер
Ilmenau University of Technology, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PO Box 100 565, 98684 Ilmenau, Germany, gerd.jaeger@tu-ilmenau.de
Ключевые слова: машина NMM-1, свободная от ошибки Аббе конструкция, нанозонды
Страницы: 26-32
Аннотация
Описывается нанометрология на основе нанопозиционирующей машины со встроенными нанозондами. Представлен принцип работы высокоточной (в большом объёме) 3D нанопозиционирующей и наноизмерительной машины (NMM-1) с пространственным разрешением 0,1 нм и диапазоном позиционирования и измерений 25 × 25 × 5 мм. В неё интегрированы различные нанозонды, включая датчики фокуса и белого света, а также тактильные нанозонды. Измерение и управление с шестью степенями свободы обеспечиваются одно-, двух- и трёхлучевыми интерферометрами, встроенными в машину NMM-1. Представлены результаты измерений
|