КОНТРОЛЬ АСФЕРИЧЕСКИХ ЛИНЗ: НОВЫЕ ПОДХОДЫ
Вольфганг Остен, Бёрнд Дёрбанд, Евгенио Гарбуци, Кристоф Прусс, Ларс Зайферт
Universität Stuttgart, Institut für Technische Optik, Pfaffenwaldring 9, D-70569 Stuttgart, Germany, osten@ito.uni-stuttgart.de
Ключевые слова: оптическая метрология, контроль асферики, динамическая адаптация по волновому фронту, динамическая адаптация по длине волны
Страницы: 40-53
Аннотация
Оптическая метрология предоставляет уникальную возможность для измерений технических и оптических поверхностей в широком диапазоне от макро до нано. Представлено два новых подхода к измерению асферических линз, отличающихся повышенной гибкостью. Первый подход основан на модифицированном интерферометре Тваймана - Грина, в котором для освещения под разными углами асферической поверхности используется множество источников, что позволяет достичь локальной компенсации градиента и, следовательно, уменьшить число интерференционных полос. Второй подход основан на хроматическом интерферометре Физо с дифракционным элементом в качестве компенсатора (нуль-оптика) для измерения асферик в жёстком ультрафиолете.
|