КОНТАКТНЫЙ ЗОНД ДЛЯ МИКРОКООРДИНАТНОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА
К. Ч. Фан1,2, Ф. Ченг1, В. Т. Пан2, Р. Ли1
1 School of Instrument Science and Optoelectronic Engineering, Hefei University of Technology,
Tunxi Rd. 193, Hefei, Anhui, China 230009
2 Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technology,
1, Sec. 3, Chung-Hsiao E. Rd., Taipei, Taiwan 106,
fan@ntu.edu.tw
Ключевые слова: контактный зонд, плавающая пластина, жёсткость, микрокоординатное измерительное устройство
Страницы: 54-62
Аннотация
Измерение миниатюрных компонентов с помощью микро- и нанокоординатных измерительных машин требует создания специальных механизмов для высокоточных контактных сканирующих зондов. Анализируется механизм действия разработанного контактного зонда в целях определения оптимальных размеров. Зонд состоит из волоконного щупа с шариковым наконечником, механизма с плавающей пластиной, подвешенной на проволоке, и датчиков фокусировки. При приложении контактной силы проволочки претерпевают упругую деформацию. Изучен принцип действия зондового механизма с пластиной на четырёхпроволочной подвеске. Расчёт жёсткости проведён с помощью теории упругости. Показано, что при подходящей длине щупа можно создать контактный зонд с однородной жёсткостью.
|
