РАЗРАБОТКА МИНИАТЮРНОГО НАНОИНДЕНТОРА С РАЗРЕШЕНИЕМ 1 нН
С. Гао, ДЖ. Ли, К. Герман
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany, Sai.Gao@ptb.de, konrad.h.herrmann@googlemail.com
Ключевые слова: микро- и нанотестирование материалов, наноиндентация, микроэлектромеханическая система (MEMS), электростатический гребенчатый привод, измерение наносилы, датчик наносилы
Страницы: 63-69
Аннотация
Исследования твёрдости материалов на основе наноинденторного метода (метода вдавливания) требуют разработки более точных и чувствительных приборов. Предложен миниатюрный наноиндентор на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-технологий), который имеет высокую разрешающую способность (до 1 нН) и большой динамический диапазон (до 1 мН). Детально представлена разработка MEMS-системы, включая численное моделирование механической системы, и её характеристики. Результаты предварительных экспериментов подтверждают возможность реализации такого миниатюрного индентора.
|