ФОРМИРОВАНИЕ ТУГОПЛАВКИХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ЛЕТУЧИХ HF-СОДЕРЖАЩИХ ПРЕКУРСОРОВ НА УГЛЕРОДНЫХ ВОЛОКНАХ
Н. Б. Морозова1, Н. В. Гельфонд1, С. В. Сысоев1, Н. И. Бакланова2, Н. З. Ляхов2
1 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2 Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН
mor@niic.nsc.ru
Ключевые слова: модифицирование поверхности УВ, MOCVD процессы, летучие ?-дикетонаты гафния(IV)
Страницы: 787-791
Аннотация
Исследована возможность модифицирования поверхности углеродных волокон тугоплавкими соединениями гафния методом химического осаждения из паров его летучих металлоорганических соединений. Методом термодинамического моделирования рассчитана CVD диаграмма системы Hf-C-O-F-H в интервале температур 25-1200 °C, давлений 10-1-10 Торр и отношения входной концентрации газа-носителя (H2) и потока паров прекурсора в диапазоне 0-2000. Показано, что процесс осаждения необходимо проводить при максимальном потоке водорода и минимальном общем давлении в системе. Методами сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучены морфологические и топографические особенности покрытий на волокнах. Получены сплошные покрытия, равномерные по длине и диаметру монофиламентов, прочно связанные с ними.
|
