ВЛИЯНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ И ТОЛЩИНЫ ОКСИДНОГО СЛОЯ НА СПЕКТРАЛЬНУЮ ЗАВИСИМОСТЬ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МЕДНОГО ЗЕРКАЛА
Л. Ю. Мельниченко, Л. В. Поперенко, И. А. Шайкевич
Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко lmeln@ukr.net, plv@univ.kiev.ua, shaykevi@univ.net.ua
Ключевые слова: шероховатость поверхности, поверхностный слой окисла, эллипсометрия, оптические постоянные, массивные медные зеркала
Страницы: 120-123
Аннотация
Проведены спектроэллипсометрические исследования двух медных зеркал с разной шероховатостью поверхности. Установлено, что спектральные зависимости оптической проводимости качественно одинаковы, но смещены по ординате; в то же время некоторые их максимумы могут быть связаны с поглощением света поверхностным окисным слоем.
|