О пространственном разрешении и точности интерферометрии фазовых микрообъектов
В. Ф. Климкии, Г. С. Ломакин
Новосибирск
Страницы: 40-45
Аннотация
Проведен экспериментальный анализ пространственного разрешения интерферометрической установки на примере микрообъектов со скачкообразным изменением плотности. Показана возможность получения надежных результатов при обработке интерферограмм оптических неоднородностей с характерным размером ∼ 50–400 мкм Установлено, что более строгий теоретический анализ вопроса о предельном пространственном разрешении требует рассмотрения дифракции света на объемных структурах.
|