МНОГОПУЧКОВАЯ ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЬ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
А. Г. Полещук, А. Р. Саметов, А. Г. Седухин
Институт автоматики и электрометрии СО РАН
poleshchuk@iae.nsk.su, sedukhin@iae.nsk.su
Ключевые слова: прямая лазерная запись, фокусировка излучения, дифракционные решётки, дифракционный аксикон, термохимическое окисление плёнок
Страницы: 3-11
Аннотация
Предложен и исследован новый вариант метода многопучковой прямой лазерной записи дифракционных оптических элементов (ДОЭ). Формирование области записи в виде массива сфокусированных световых пятен осуществляется путём расщепления записывающего лазерного пучка на несколько пучков с помощью дифракционной решётки Даммана и фокусировки этих пучков на плоскости подвижного носителя со светочувствительным материалом. Подстройка радиального шага записи и коррекция равномерности интенсивности пучков производится путём поворота решётки Даммана и её смещения в направлении дисперсии. При записи ДОЭ радиальный шаг дискретного смещения области записи относительно плоскости ДОЭ задаётся равным либо кратным среднему радиальному расстоянию между радиальными проекциями центров сфокусированных световых пятен. Данный вариант обеспечивает повышенную производительность и точность вследствие высококачественного распараллеливания записывающего пучка и эффекта усреднения при записи с наложением.
|
