Сопряженный конвективный теплообмен кристалла с окружающей средой в режиме термогравитационной конвекции в методе Чохральского
В. С. Бердников, А. М. Григорьева, М. С. Клещенок
Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН
berdnikov@itp.nsc.ru
Ключевые слова: рост кристаллов, сопряженный теплообмен, термогравитационная конвекция, поля температуры в кристаллах, численное моделирование, метод конечных элементов
Страницы: 623-636
Аннотация
Приведены результаты численных исследований сопряженного конвективного теплообмена в системе, геометрически подобной системе кристалл−газ−корпус ростовой камеры в методе Чохральского. Методом конечных элементов решены уравнения термогравитационной конвекции в приближении Буссинеска в переменных: температура, функция тока и вихрь в цилиндрических координатах. Исследована теплоотдача от кристалла в диапазоне чисел Грасгофа 100 ≤ Gr ≤ 104 при фиксированной геометрии расчетной области. Изучена зависимость полей температуры в кристалле кремния от интенсивности конвекции в газе (аргоне).
|
