Изменение оптических свойств системы оксидная пленкав€’металл в процессе роста пленки: компьютерное моделирование
С. П. Русин
Объединенный институт высоких температур РАН
sprusin@yandex.ru
Ключевые слова: оксидная пленка, эффективная отражательная способность, рост толщины пленки
Страницы: 543-654
Аннотация
Представлены результаты компьютерного моделирования отражательных свойств системы оксидная пленка−металл в процессе окисления в воздушной среде. В качестве исходных данных использовались комплексные показатели преломления для оксидной пленки и металла. Рассматриваются тонкие пленки (толщина пленки соизмерима с длиной волны падающего излучения) и толстые пленки (толщина пленки много больше длины волны падающего излучения). Для тонкой пленки выделен параметр, который характеризует цикличность отражательной способности системы в процессе роста толщины пленки. Показано, что параметр цикличности не зависит от оптических свойств металлической подложки. В воздушной среде этот параметр определяется комплексным показателем преломления пленки, ее толщиной и направлением падающего излучения. Для толстой пленки приведены соотношения для оценки отражательной способности системы в процессе роста оксидной пленки.
|
