АДАПТИВНАЯ ПОРОГОВАЯ ОБРАБОТКА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ ИНТЕРФЕРОГРАММ
Е.В. Сысоев, А.К. Поташников
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41 evsml@mail.ru
Ключевые слова: интерференция частично когерентного света, сканирующий интерферометр, адаптивный порог, интерференционный контроль рельефа поверхности, дифференциальная интерферограмма
Страницы: 20-25 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Предложен способ выбора адаптивного порога при обнаружении сигнала интерференции в оптическом профилометре, основанный на оценке оптического квантового шума в интерферограммах каждой измеряемой точки. Показано, что при использовании дифференциальных интерферограмм такой подход позволяет расширить динамический диапазон обнаружения интерференции и автоматизировать процесс измерения рельефа поверхностей, имеющих большой разброс коэффициента отражения света в зоне измерения. Приведены теоретические выкладки, результаты расчётов и экспериментов.
|