Связанная модель формирования покрытия на подложке цилиндрической формы
С.А. Шанин1, А.Г. Князева1,2
1Томский политехнический университет, 634004 Томск
shanin_s@mail.ru
2Институт физики прочности и материаловедения, 634021 Томск
anna-knyazeva@mail.ru
Ключевые слова: осаждение покрытия, перекрестные эффекты, химические превращения, связанная модель
Страницы: 192-204
Аннотация
Предложена связанная модель формирования покрытия на поверхности детали цилиндрической формы при осаждении из плазмы, учитывающая явления термодиффузии, диффузионной теплопроводности, переноса массы под действием градиента напряжений и образования химических соединений. Скорость роста покрытия считается заданной функцией скоростей частиц и их концентрации вблизи поверхности растущего покрытия. Задача решается численно. Показано, что в процессе роста перекрестные диффузионные потоки, диффузионная теплопроводность и термодиффузия приводят к уменьшению ширины переходной зоны между подложкой и покрытием. Это влияние становится наиболее существенным в случае, если подложка обладает низкой теплопроводностью. Учет напряжений в системе покрытие - подложка, возникающих в процессе осаждения, приводит к изменению эффективных коэффициентов переноса и оказывает значительное влияние на результат моделирования распределения химических элементов и их соединений в покрытии.
|
