КВАЗИГЕТЕРОДИННЫЙ МЕТОД ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ
В.И. Гужов, С.П. Ильиных, И.А. Сажин, Е.Н. Денежкин, Е.С. Кабак, Д.С. Хайдуков
Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20
vig@edu.nstu.ru
Ключевые слова: интерферометрия, пошаговый фазовый сдвиг, interferometry, phase-shifting interferometry
Страницы: 80-86
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Предложен метод измерения разности фаз двух интерферирующих волновых фронтов на основе анализа траекторий, образованных значениями интенсивности пар точек в серии интерферограмм с различными фазовыми сдвигами. В данном методе не требуется априорного знания фактических значений фазовых сдвигов.
|
