ПРЯМАЯ ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЬ В ПЛЁНКАХ ХРОМА ПОЛУТОНОВЫХ МИКРОИЗОБРАЖЕНИЙ С БОЛЬШИМ ДИНАМИЧЕСКИМ ДИАПАЗОНОМ
А.Г. Полещук, В.П. Корольков, А.Г. Седухин, А.Р. Саметов, Р.В. Шиманский
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
poleshchuk.a.g@iae.nsk.su
Ключевые слова: лазерная запись, лазерное окисление, термохимические реакции, аподизация, датчик Шэка - Гартмана, laser writing, laser oxidation, thermochemical reactions, apodization, Shack , Hartmann sensor
Страницы: 87-93
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Разработан и исследован метод прямой лазерной термохимической записи в тонких плёнках хрома полутоновых микроизображений. Метод включает в себя экспонирование плёнки хрома сфокусированным лазерным пучком с изменяющейся мощностью и проявку в селективном травителе. Получен диапазон изменения пропускания более чем в 100 раз. Нелинейность зависимости пропускания плёнки хрома от мощности экспонирующего пучка устраняется программной коррекций. Экспериментально изготовлены образцы растра (64 ´ 64, шаг 176 мкм) апертур (36 мкм) с полутоновым гауссовым пропусканием. Данный растр применён в модифицированном датчике Шэка - Гартмана.
|
