АППАРАТНЫЕ ФУНКЦИИ ПОЛИКАПИЛЛЯРНОЙ ЛИНЗЫ И КОНФОКАЛЬНОГО РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОСКОПА ПРИ ПЕРЕСТРОЙКЕ ЕГО КОНФОКАЛЬНОГО ОБЪЁМА
Д.С. Сороколетов, Я.В. Ракшун, Ф.А. Дарьин
Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11
D.S.Srkv@gmail.com
Ключевые слова: микро-РФА, рентгеновская оптика, поликапиллярные линзы, конфокальный рентгеновский микроскоп, КРМ, аппаратная функция, обратная задача, micro-XRF, X-ray optics, polycapillary lenses, confocal X-ray microscope, CXRF, spread function, inverse problem
Страницы: 94-103
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Конфокальная схема эксперимента с двумя поликапиллярными линзами применяется для анализа приповерхностных слоёв образцов методом рентгенофлуоресцентного микроанализа с точностью до 10 мкм. Для увеличения пространственного разрешения необходим учёт влияния аппаратной функции конфокального рентгенооптического узла. Представляет интерес постановка экспериментов при перестраиваемой апертуре конфокального объёма. При этом в аппаратной функции может увеличиваться вклад неточности настроек. Предложен и экспериментально обоснован способ описания аппаратной функции конфокального рентгеновского микроскопа, допускающий его перестройку и учитывающий влияние ошибок угловой настройки. Он основан на применении аппроксимирующего выражения типа асимметричной «каустики гауссового пучка».
|
