ТЕПЛОВЫЕ ПРИЁМНИКИ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ МАТРИЦ. Ч. II. НОВЫЕ, НЕТЕПЛОИЗОЛИРОВАННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
С.Д. Иванов, Э.Г. Косцов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
ivanow183@mail.ru
Ключевые слова: инфракрасная техника, тепловые приёмники излучения, пироэлектрические плёнки, мегапиксельная матрица, пироэлектрический заряд, температуропроводность, infrared equipment, thermal detectors of infrared radiation, pyroelectric films, megapixel array, pyroelectric charge, thermal diffusion
Страницы: 104-115
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Разработан новый подход к построению теплового элемента многоэлементной матрицы на базе тонких пироэлектрических плёнок: элемент не теплоизолируется от подложки, не отделяется зазором от её поверхности и функционирует за счёт накопления заряда, генерируемого ИК-излучением, за время кадра. Описан новый принцип высокоскоростной модуляции излучения. Представлены экспериментальные исследования поведения пироэлектрического коэффициента в плёнках ниобата бария-стронция (BaxSr1-xNb2O6), который достигает значений до (1-2) x 10-3 Кл/м2. Показано, что чувствительные элементы размером 12x12 мкм обладают в режиме накопления заряда удельной обнаружительной способностью выше 103 см x Гц0,5 x Вт-1.
DOI: 10.15372/AUT20160113 |
